장치진단기기 (머신포케스트시스템)
진동, 소음, 자장센서를 통한 데이터를 활용하여 공정장비의 상태를 모니터링하고 미세결함에 대해 센싱함으로 공정장비를 진단 및 예측할 수 있는 시스템.
장치데이터를 진동, 자장등 센서를 통해 실시간 모니터링하면서 결함을 도출및 특징화하여 결함진단예측하는 시스템
각종센서 + DAQ + PC + MONITOR
PC 내부 실장된 데이터처리프로세스 및 GUI
복잡한 기능을 갖는 장치의 장치데이터를 센서로 실시간 모니터링.
결함데이터를 FFT변환 및 분석 가능
분석된 데이터로 장치 진단 및 수명예측 가능
고객의 요구에 맞게 대응하는 장치로 현재는 일부기업에서 시도중인 장치임.
진단기기, 실시간모니터링, 진동자장센서